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18对棒多晶硅还原炉制造技术
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文档序号:6245536
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本18对棒多晶硅还原炉在还原炉内壁有光滑的银层,底盘上配有18对电极、在底盘上均匀设置多个进气喷嘴,利用银的化学特性和良好的加工性,以及抛光后的镜面效果,使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀,反应更充分,此举不仅提高了产品纯度,也达到...
该专利属于成都蜀菱科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都蜀菱科技发展有限公司授权不得商用。
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