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文档序号:6244530

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本发明提供一种半导体装置,包括:多个泵控制单元,所述多个泵控制单元分别位于多个芯片中并通过第一TSV串联连接,并被配置为将周期信号顺序地延迟、传送延迟周期信号、并基于所述周期信号或所述延迟周期信号来产生泵控制信号;以及多个电压泵单元,所述多...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

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