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块状单晶含镓氮化物、其获得方法、其制造的衬底以及在该衬底上制造的器件技术
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文档序号:6243350
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本发明涉及一种获得块状单晶含镓氮化物的方法,其包括单晶含镓氮化物从含有I族金属离子和受主掺杂剂离子的超临界含氨溶液中晶种结晶的步骤,其中在工艺条件下,所述受主掺杂剂离子与超临界含氨溶剂的摩尔比为至少0.0001。根据所述方法,在所述晶种结晶...
该专利属于阿莫诺公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿莫诺公司授权不得商用。
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