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本发明多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置包括多晶硅CVD炉进气量调节装置与多晶硅CVD炉出气量调节装置，所述的多晶硅CVD炉出气量调节装置包括多晶硅CVD炉中心出气口出气调节装置和非中心出气口出气量调节装置。当多晶硅CVD炉内出现类似雾化等...
该专利属于上海森松化工成套装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海森松化工成套装备有限公司授权不得商用。

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