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本发明属于金属材料表面沉积超硬多层涂层技术领域，具体为一种钛／氮化钛多层薄膜的沉积方法，解决了普通电弧离子镀沉积多层薄膜时单元层厚度波动较大的问题。该方法包括如下步骤：（１）通过交替通入气体，精确控制气体流量和时间；（２）采用电弧离子镀技术...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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