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本实用新型公开了一种微电子元件框架干燥装置，包括风刀，其特征在于，还包括有至少两个可转动的吸水轮，两个吸水轮之间具有可允许微电子元件框架穿过的间隙；以微电子元件框架的运动方向为准，吸水轮安装在风刀之前。本实用新型中的微电子元件框架干燥装置，...
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