下载反射镜高精度装夹装置的技术资料

文档序号:6195818

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本发明是反射镜高精度装夹装置,属于超高精度光学元件检测设备中光学元件的夹持装置领域,解决了超高精度干涉仪系统反射镜装夹问题。该装置主要包括有固定支架、镜框内环、镜框外环、定位支撑结构,压紧结构,所述的镜框内环和镜框外环组成镜框,并将反射镜固...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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