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本发明提供一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法，采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响；同时，利用针孔阵列滤波的系统误差自校准，通过在光刻机投影物...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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