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一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，它解决现有光学元件轴向调整装置轴向调整时引起径向误差的问题，本发明从整体上可以看作物镜的一个镜筒单元，通过轴孔精密配合将镜座放入镜筒中；将滑架安装在镜筒外...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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