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本实用新型涉及一种电子束胶光掩模板的去胶装置，安装在机座下部的驱动件其活动杆通过联板与驱动连杆连接，驱动连杆与支座连接；安装在机座上部的外槽体其槽壁四周安装有上喷嘴、底板有排液流道；内槽体通过支承架安装在外槽体内，托架的托盘设置在内槽体内，...该专利属于常州瑞择微电子科技有限公司;无锡华润微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州瑞择微电子科技有限公司;无锡华润微电子有限公司授权不得商用。