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一种TiO2/WO3复合薄膜的制备方法及所得薄膜的应用技术
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下载一种TiO2/WO3复合薄膜的制备方法及所得薄膜的应用的技术资料
文档序号:6139328
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本发明属于光电材料新能源领域,特别涉及TiO2/WO3复合薄膜的制备方法。首先使用双极脉冲磁控溅射在基底上溅射TiO2薄膜,然后在溅射好的TiO2薄膜上二次沉积WO3薄膜,将获得的复合薄膜进行退火处理即得TiO2/WO3复合薄膜。本发明采用...
该专利属于河南大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南大学授权不得商用。
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