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本实用新型公开了一种大面积高功率微波等离子体环形微波腔，主要由两端均密封的环形谐振腔（1）、以及设置在环形谐振腔（1）内部的基片座（6）构成，所述环形谐振腔（1）设置有进气口（2）和抽气口（3），环形谐振腔（1）的下端和上端分别连接有同轴耦...
该专利属于季天仁;季宇;刁宇所有，仅供学习研究参考，未经过季天仁;季宇;刁宇授权不得商用。

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