下载新型多层膜结构的透明导电氧化物薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:6105128

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本发明公开了一种新型多层膜结构的透明导电氧化物薄膜,它是由基板、过渡层、ITO层和ZnO基薄膜层组成;其中所述的基板为超白玻璃;所述的过渡层为SiO2或者SiNx;所述的ITO层为Sn掺杂的In2O3薄膜;所述的ZnO基薄膜层掺杂的元素为A...
该专利属于天津师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津师范大学授权不得商用。

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