下载用于定向凝固法生长硅晶体的引晶模具及晶体生长方法的技术资料

文档序号:6095616

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本发明公开了一种用于定向凝固法生长硅晶体的引晶模具及晶体生长方法。该引晶模具放置在石英坩埚内的底部,包括籽晶容器和隔离液容器,隔离液容器由连接在籽晶容器周围的空腔构成,用于放置隔离物质;籽晶容器设有用于放置籽晶的第一空腔。而采用该引晶模具进...
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