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本发明涉及一种硅太阳能电池及其制备方法，其步骤如下：(1)将硅片进行湿式化学清洗后烘干；(2)将硅片进行单面磷源扩散；(3)将硅片放入氧化炉内，形成氧化层；(4)对硅片正面进行第一次光刻；(5)去掉硅片光刻图形部分的氧化层；(6)在硅片的扩...该专利属于中节能太阳能科技有限公司;中节能太阳能科技（镇江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中节能太阳能科技有限公司;中节能太阳能科技（镇江）有限公司授权不得商用。