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本发明公开了一种化学气相沉积反应设备，包括箱体和位于所述箱体内部的工件架，所述工件架具有纵向间隔交替排列的复数个支架，所述支架两侧放置基板；所述基板之间的反应空间设置有至少一根内部由隔板分隔为至少两个通道的多通道输气管，在所述隔板两侧通道的...
该专利属于福建钧石能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建钧石能源有限公司授权不得商用。

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