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本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压...
该专利属于华中科技大学;上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学;上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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