The invention provides a precise and active damping device with compact structure and high integration degree, and is suitable for small quality precise processing (measuring) equipment which needs to be suppressed by micro amplitude vibration. The device mainly comprises a piezoelectric block structure capable of experiencing vibration and vibration suppression, a piezoelectric block, a folding spring providing vertical preload, and a flexible hinge providing vertical passive isolation. The piezoelectric block can be vertically arranged or tilted at 45 degrees, and the inclined piezoelectric block structure can be used to measure and suppress horizontal vibration and vertical vibration simultaneously. In addition, a vibration isolation device capable of realizing horizontal vibration isolation can provide vibration isolation of 360 degrees of horizontal surface, and the spiral groove is processed by line cutting inside. The horizontal vibration isolation device is combined with vertical precision active vibration damping device. It can not only automatically suppress vertical vibration, but also passively isolate horizontal vibration.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密减振领域，具体涉及一种小型的精密主动减振装置。该装置适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工(测量)设备。
技术介绍
常见减振装置一般采用如螺旋弹簧、气囊等元件隔离从振源传至被隔离物体的振动。采用螺旋弹簧的系统存在着无法抑制低频振动的问题。采用气囊的减振系统虽然可以有效抑制低频振动，但其承载力小，体积大，不利于用在精密小型设备中。另外，螺旋弹簧或气囊等都是被动隔振元件，即他们不需要消耗外部能量，但无法主动根据外界振动情况进行振动抑制，也无法抑制直接作用于受保护设备的振动，并且无法主动进行定位调节。被动隔振元件与传感器、作动器结合可以构成主动减振装置，其传感器常采用速度或加速度传感器，作动器常采用电机，气缸等。受传感器、作动器体积的限制，对于需要微幅精密减振的小型设备而言，这种主动减振装置结构复杂，体积较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它主要针对于需要进行微幅振动抑制的小质量精密设备。本专利技术提供的一种精密主动减振装置，其特征在于，该装置包括在同一基体内加工而成的被动减振部分与主动减振部分，主...
【技术保护点】
１．一种精密主动减振装置，其特征在于，该装置包括在同一基体内加工而成的被动减振部分与主动减振部分，主动减振部分位于被动减振部分上面，二者之间为中间断开的直线隔离槽，直线隔离槽为螺旋线形槽；主动减振元件采用的压电块结构，其中压电块的预压力由折叠弹簧提供，被动减振元件采用的是柔性铰链结构，整个装置关于垂向中心线轴对称。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈学东，李巍，徐振高，袁志扬，吴文江，
申请(专利权)人：华中科技大学，上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：83
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