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新型温度梯度晶体定向生长方法技术
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文档序号:6082972
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一种新型温度梯度晶体定向生长方法,涉及晶体生长新技术,其特征在于:把加热体在垂直方向上,分成1~N组,每组加热体都可以独立进行0~100%的功率控制,利用每组加热体功率不同的分布组合可以方便的实现温度梯度的分布,进行不同晶体的生长。可以模拟...
该专利属于元亮科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过元亮科技有限公司授权不得商用。
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