下载一种硅粉干燥装置的技术资料

文档序号:6078320

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本实用新型提供一种硅粉干燥装置,包括有输入待干燥硅粉以及干燥所需加热气体的输入单元、干燥单元、用于对干燥单元进行抽真空的真空单元以及输出干燥后的硅粉及水汽的输出单元,所述干燥单元分别与输入单元、真空单元以及输出单元连接,通过调节输入单元利用...
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