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提供一种可防止真空变形的真空进样室。真空进样室包括第一腔室、第二腔室及上盖。第一腔室包括第一底板和从第一底板垂直延伸的四个第一侧壁，在四个第一侧壁中的相互对置的两个第一侧壁上，形成有用于基板的搬入及搬出的第一狭槽。第二腔室包括第二底板和从第...
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