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本发明公开了激光位移传感技术领域中的一种位相正交双频激光回馈位移测量系统。该系统引入五细分芯片对光强信号五细分后得到两路有90度位相差的方波信号，对方波信号的边沿进行处理以实现四细分，达到亚纳米级的分辨率，并根据两路方波信号位相的相对超前或...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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