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本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法，包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层，在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式；步骤3：采用感应耦合等离子体刻蚀的方法或者剥离技术，...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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