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气体分布板及具备气体分布板的处理室制造技术
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文档序号:6072002
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本发明提供一种气体分布板及具备该气体分布板的处理室,可缩短制造时间,节省制造费用。该气体分布板包括:第一孔,形成于第一面侧;贯通孔,从第一孔延伸至作为第一面的相反面的第二面方向,并且在各第一孔上至少连结两个以上该贯通孔;以及至少一个第二孔,...
该专利属于TES股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TES股份有限公司授权不得商用。
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