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文档序号:6060252

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本发明公开了一种晶片烘干系统,包括:烘干室;传输单元,所述传输单元用于将晶片传输通过所述烘干室;其中所述传输单元包括:传输带,所述传输带的上段用于承载晶片承载器,所述晶片容纳在所述晶片承载器中,所述传输带的上段的两侧朝向所述传输带的中央向上...
该专利属于王楚雯所有,仅供学习研究参考,未经过王楚雯授权不得商用。

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