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一种利用硅锡合金提纯多晶硅的方法技术
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文档序号:6057694
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一种利用硅锡合金提纯多晶硅的方法。属于冶金领域,提供一种利用硅锡合金提纯多晶硅的方法。将锡粉与工业硅混合后装入石墨坩埚内,将装有锡粉与工业硅的石墨坩埚放入定向凝固炉中,再将其抽真空,将凝固炉内温度升至1480~1600℃,通入保护气体并调节...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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