下载高压金属氧化物半导体元件与制作方法的技术资料

文档序号:6053128

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本发明提出一种高压金属氧化物半导体元件与制作方法。该高压金属氧化物半导体元件包括基板;位于该基板表面上的栅极结构;位于该基板内部的阱区,从顶面视之此阱区在水平面上构成一元件区;位于该阱区内部的漂移区;位于该阱区内部的源极;位于该漂移区内部的...
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