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本发明公开一种在单晶（ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ）基板上形成悬浮物件的方法，其中所述单晶基板的硅基层上具有由至少一湿式蚀刻区、至少一电路区及至少一微结构区所组成的电路层，所述湿式蚀刻区是作为所述电路区与所述微结构区间的区隔，并往下延伸至所述硅基层...
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