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本发明涉及晶圆封装方法,包括步骤:提供转载板,所述转载板上固定有封装体,所述封装体包括晶圆和封料层,所述晶圆的功能面暴露;在晶圆的芯片单元之间形成凹槽,所述凹槽贯穿所述晶圆;填充所述凹槽;在所述晶圆的功能面上形成保护层,所述保护层暴露所述晶...该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及晶圆封装方法,包括步骤:提供转载板,所述转载板上固定有封装体,所述封装体包括晶圆和封料层,所述晶圆的功能面暴露;在晶圆的芯片单元之间形成凹槽,所述凹槽贯穿所述晶圆;填充所述凹槽;在所述晶圆的功能面上形成保护层,所述保护层暴露所述晶...