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本发明公开了一种硅片预对准装置及预对准方法，所述硅片预对准装置包括机械视觉系统、旋转台及机械手，所述旋转台同时具有硅片的定心和硅片缺口的定向的功能，不需再增加其它定向结构。同时，本发明还公开了一种预对准方法，所述预对准方法将硅片的定心、硅片...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。