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本发明涉及光刻用防尘薄膜组件及其制造方法。本发明提供了一种防尘薄膜组件，其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。根据本发明的防尘薄膜组件制造方法，在防尘薄膜组件框...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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