下载晶圆级转接板的制备方法的技术资料

文档序号:6046901

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本发明涉及一种晶圆级转接板的制备方法,属于集成电路或分立器件封装技术领域。所述方法包括以下工艺步骤:取载体圆片;在载体圆片上上溅射或者化学镀上金属导电层;在金属导电层上形成掩膜图形开口;在掩膜图形开口内填充金属;在载体圆片表面形成金属柱阵列...
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