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一种基板上浮装置，在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。...
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