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目前用户使用光学关键尺寸(OCD)检测设备时，需要将新的轮廓告知光学关键尺寸检测设备商制成轮廓模板后才能进行光谱计算，时间周期长、保密性差。本发明提供了在光学关键尺寸检测设备中用户自定义轮廓的方法，其中建立轮廓模板的方法包括如下步骤：ii....
该专利属于睿励科学仪器(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。

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