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用于通过使用熔融颗粒产生由硅构成的单晶体的方法技术
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文档序号:6045167
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本发明涉及一种用于通过使用熔融颗粒产生由硅构成的单晶体的方法,所述方法包括:借助于第一感应加热线圈,在生长的单晶体与由硅构成的锥形管的下端之间产生第一体积的熔融硅,所述管在下端被封闭,且围出由硅构成的转动板的中心开口,所述管延伸到所述板的下...
该专利属于硅电子股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅电子股份公司授权不得商用。
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