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本发明涉及激光显示技术领域，具体是一种基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置。解决了现有散斑消除方法存在的消除散斑效果不佳、实现结构复杂、易损坏、成本高等问题，包括应用MEMS加工工艺在玻璃基底上加工获得的平面光波导分路器，以及置于平面光...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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