The invention relates to the technical field of laser display, in particular to a speckle suppression device for a laser light source based on MEMS technology. To solve the existing speckle reduction methods are the elimination of the speckle is inefficient, complicated structure, easy damage, high cost, including the application of MEMS process on glass substrate processing of planar optical waveguide splitter is obtained, and a planar optical waveguide splitter output waveguide, side to convergent lens planar optical waveguide splitter the output beam convergence, the planar optical waveguide splitter for planar optical waveguide splitter 1 * N, N = 2, and each output waveguide planar waveguide splitter are respectively integrated with phase modulation device. The invention has the advantages of simple structure, mature processing technology, easy realization, low cost, high integration degree, good speckle elimination effect and stable performance. ?
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光显示
，具体是一种基于MEMS技术的激光光源用散斑抑 制装置。
技术介绍
以激光为光源照射屏幕时，由于激光的相干性及屏幕的粗糙，导致人眼看到被散 斑覆盖的图像，严重影响图像显示质量，阻碍观察者从图像中提取有用信息。因此，如何消 除散斑一直是以激光为光源的光学仪器领域和显示
中的研发热点。而就目前的研 究结果来看，为消除散斑所用的方法大致可以分为两大类一、通过控制激光光源的时间相 干性来降低散斑，其原理是通过调整激光波长(或者频率)及多波长光源产生沸腾散斑， 目前通过控制激光时间相干性成功消除光斑达到实用要求的技术方案以多光源叠加为主； 二、通过控制激光光束空间相干性消除散斑，是目前消除散斑的主要方法，基本原理是调整 激光光束中基元光波的相位分布，从而改变散斑的空间分布，将多个散斑图像在人眼积分 时间内相叠加，得到一个光能分布均勻的图像，进而实现消除散斑的目的。具体的方法有 采用旋转散射体、振动屏幕、振动具有Hadamard图形散射体、高频振动光纤等。上述这些 方法，或要借助机械振动，甚至需要高频或大幅振动，或要集成多光源，实现结构复...
【技术保护点】
一种基于ＭＥＭＳ技术的激光光源用散斑抑制装置，其特征在于：包括应用ＭＥＭＳ加工工艺在玻璃基底（１）上加工获得的平面光波导分路器（２），以及置于平面光波导分路器（２）输出波导侧、用以将平面光波导分路器（２）输出光束汇聚的汇聚透镜（３），所述平面光波导分路器（２）为１×Ｎ结构的平面光波导分路器，Ｎ≥２，且平面光波导分路器（２）的各输出波导上分别集成有相位调制装置（４）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭远，石云波，唐国先，刘俊，薛晨阳，唐军，徐美芳，党旭，冯楠，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：14
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