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本发明涉及一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器。现有的传感器的噪声大、稳定性差，量程和带宽小。本发明包括第一基板及其上表面的检测用交叉梳齿状固定对电极、固定于第一基板上的敏感器锚点、固定质量块锚点、第二基板的悬于第一基板上方的条形敏感器质量块...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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