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一种靶材的加工方法，所述方法包括：提供靶材坯料；对所述靶材坯料按目标靶材的形状进行下料，所述目标靶材为多个分割靶材装配组成的靶材；对下料后的靶材坯料进行机械加工，得到半成品靶材；将所述半成品靶材利用线切割进行分割，得到分割靶材。本发明工艺简...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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