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一种用于晶体硅太阳电池的双层氮化硅薄膜及其制备方法，它涉及一种晶体硅太阳电池生产的技术领域。它由两个具有不同折射率的氮化硅子层薄膜组成，并且在一次PECVD沉积过程中获得。两个子层中，与硅片接触的第一子层(内层)比第二子层薄膜(外层)具有更...
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