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提供一种光照射装置，具备廉价且尽可能不使装置重量变重的掩模保持机构。在通过透光性的掩模保持机构(4)来吸附保持形成有图案的掩模(5)、并将从光照射部(1)射出的光经由掩模(5)照射到被照射物(W)的光照射装置中，掩模保持机构(4)具备：比掩...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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