下载一种半导体器件的加热装置的技术资料

文档序号:6034581

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本实用新型公开了一种半导体器件的加热装置,其包括导热的底座、固定于底座上的PCB板、设于PCB板上的需要加热的半导体器件以及电加热体,在所述底座上分别设有第一腔室和第二腔室,所述需要加热的半导体器件容纳于该第一腔室内,且该半导体器件的顶面与...
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