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一种含硅芴的新型聚硅烷制造技术
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文档序号:6029138
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本发明公开了一种含硅芴的新型聚硅烷。聚合物中包括一种硅芴化合物,还包括从乙醇、硝基溴苯、三甲基溴硅烷、苯并噻二唑等选取的化合物。本发明独特的结构使其在溶解性、热稳定性、紫外吸收和荧光等方面呈现出特有的性质。基于其独特的性能,在光致抗蚀剂、光...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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