下载一种降低硅片表面光反射率的方法的技术资料

文档序号:6028072

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种降低硅表面光反射率的方法,该方法包括如下步骤:步骤1:将硅片浸入氢氟酸与含有Ag离子、Cu离子、Ni离子或Mg离子的盐的混合溶液中进行刻蚀;步骤2:将刻蚀后的硅片放入硝酸或者王水中超声清洗以去除表面的金属覆盖物。该方法工艺简...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。