下载一种具有超陡亚阈值斜率的阻变场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:6027610

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本发明提供了一种具有超陡亚阈值斜率的阻变场效应晶体管,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。该阻变场效应晶体管包括一个控制栅电极层、一个栅介质层、一个半导体衬底、一个源掺杂区和一个漏掺杂区,控制栅采用栅叠层...
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