下载一种制备P型SiC纳米线场效应管的方法的技术资料

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一种制备基于P型SiC纳米线的场效应管的新方法,其包括以下具体步骤:(1)有机前驱体聚硅氮烷与一定量的硝酸铝混合均匀后在保护气氛N2或Ar气气氛下,于260℃进行低温交联固化,得到非晶态固体,然后球磨粉碎;(2)将粉碎得到的粉末置于Al2O...
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