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本发明提供一种三氯硅烷制造装置，其能够使反应室内的温度分布均匀并以更高的热效率加热供给气体的同时，在不损失热效率的情况下谋求装置的大型化，并能够实现大量生产。该三氯硅烷制造装置具备自下方被供给所述原料气体而生成反应气体的大致筒状的反应室、设...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。

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