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文档序号:6002140

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本发明公开了一种LDMOS、集成该LDMOS的半导体器件及其制造方法。一种半导体器件,包括位于p型衬底10中的LDMOS?1、CMOS?2、NPN?3和埋沟电阻4。其中LDMOS?1包括n型漂移区20、p+阱接触区40、p型体区70、n+源...
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