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本发明提供了一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法。本发明应用离子交换技术，在玻璃基底形成半球型聚焦微透镜阵列，进而利用飞秒激光诱导玻璃基底的内部发生折射率变化，形成微米宽度的光波导功分器，从而实现将微透镜和光波导功分器两种基本微光学...
该专利属于西南科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南科技大学授权不得商用。

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