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本实用新型涉及一种真空系统恒压恒流调节器,包括真空检测单元,采集真空系统的真空度;智能控制单元,接收真空检测单元的信号,执行控制程序,向调节单元发送控制信号;调节单元,接收智能控制单元的控制信号,调节真空系统的真空度;还具有计算机软件单元,...该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司授权不得商用。
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